Spektrometria mas jest dziedziną dość rozległą. W odniesieniu do układów próżniowych może być stosowana do wykrywania nieszczelności
a także do badania składu atmosfery próżniowej. Jej skład procentowy odbiega bowiem od składu powietrza.
Historycznie najstarszymi metodami analizy gazów w układach próżniowych były metody wolumetryczne.
Polegały one na pobieraniu próbki gazów, oznaczeniu ciśnienia a następnie na eliminacji gazów poprzez kolejne pochłanianie
ich na drodze chemicznej lub fizycznej. Eliminacja gazów z próbki pwowodowała zmiany ciśnienia, co pozwalało obliczyć
procentowy skład gazów. Ze względu na budowę aparatury gazy nieczynne, takie jak węglowodory i argon były oznaczane łącznie.
Obsługa aparatury była kłopotliwa i wymagała dużo czasu. Więcej można się na ten temat dowiedzieć
z opracowania PIE z roku 1959 .
Można tu zobaczyć także zdjęcia tego typu aparatury.
Wspomniana uciążliwość obsługi, możliwość analizy tylko niektórych gazów spowodowała konieczność rozwoju spektrometrii mas.
Do badania fazy gazowej w lampach elektronowych stosowano omegatron. Był to mały, dość prosty spektrometr. Z uwagi na małą zdolność rozdzielczą
znalazł ograniczone zastosowanie i został zastąpiony spektrometrami kwadrupolowymi, stosowanymi po dzień dzisiejszy.
Na tej stronie znajdują się opisy i dane techniczne polskich spektrometrów starszej produkcji.